| 真空槽尺寸(mm) | φ1300 | φ1500 |
| 伞架尺寸(mm) | φ1150 | φ1400 |
| 体积(mm) | W4,500×D6,000×H2,730 | W4,900×D6,500×H3,166 |
| 重量(kg) | 6,546 | 9301 |
| 排气系统 | 22 inchDP×2 冷阱 | 22 inchDP×2 冷阱 |
| 基板加热 | 卤素灯or加热丝（~350℃） | |
| 电子枪 | 180° or 270° 偏向型 | |
| 离子源 | 栅网式RF离子源 φ130,180,230 | |
| 光学膜厚仪 | Lafio Plus | |
| 水晶膜厚仪 | 单 or 六连晶控探头+COAT LEADER | |
其他选配配件：CP规格，TMP规格，翻转板机构，自公转治具,阻蒸，直连监控, ECO22等
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