真空槽尺寸[mm]

φ1300

φ1550

伞架尺寸[mm]

φ1150

φ1400

体积[mm]

W4,500×D6,000×H2,730

W4,900×D6,500×H3,166

重量[kg]

6,546

9,301

排气系统

22 inchDP×2

迈斯纳冷阱

26 inchDP×2

迈斯纳冷阱

基板加熱

卤素灯 or 加热丝 ~350℃

電子枪

180° or 270°偏向型

离子源

栅网式RF离子源　φ130,180,230

光学膜厚仪

Lafio Plus　

水晶膜厚仪

单 or 六连探头 + COAT LEADER

其他

CP规格，TMP规格，翻转板机构，自公转治具, 阻蒸，直连监控, ECO22