真空槽尺寸[mm]

φ1700

伞架尺寸[mm]

φ1600

体积[mm]

W5,000×D7,000×H3,024

重量[kg]

9,341

排气系统

22 inchDP×2

迈斯纳冷阱

基板加熱

卤素灯 or 加热丝 ~350℃

電子枪

180° or 270°偏向型

离子源

栅网式RF离子源　φ130,180,230

光学膜厚仪

Lafio Plus　

水晶膜厚仪

单 or 六连探头 + COAT LEADER

其他

CP规格，TMP规格，翻转板机构，自公转治具, 阻蒸，直连监控, ECO22