特点

１．高效率排气系统

２．可降低颗粒及微尘污染 选购配置

３．高精度膜厚控制系统

４．高功率 ・ 大面积照射离子源

重复性性能

采用新开发研制的光纤式光学膜厚仪、配备80点监控玻璃的稳定温度设计实现高精度特性。

通过纳入难以受到污染的技术，并以质量稳定的真空技术，连续20批次I R截止滤光片镀膜中不需要清扫・校正。

高功率RF离子源

Sapio 专用设计配备高效率RF 离子源，可从多层光学滤波片到树脂基片上镀高品质薄膜。

用独特的方法确定离子中和器点火，使其稳定放电。