可对应激光器产品
特征：
近红外区域的高精度性能控制！
最适用于激光器类产品！
自动翻转结构实现双面镀膜！
RF离子源实现高功率的蒸镀辅助！
翻转结构 | 8轴/8片(※自动翻转结构实现双面镀膜) |
占地(含维护所需)[mm] | W4,000×D5,800×H2,637mm |
重量[kg] | 4,685kg |
排气系统 | 22 inchCP×1、MBP、DRP×1、冷阱 |
基板加热 | 加热丝 350℃ or 卤素灯150℃ |
电子枪 | 180° or 270°偏向型 |
离子源 | 栅网结构RF离子源 ISG-130 |
水晶膜厚监控仪 | 6点晶控+ COÅT LEADERⅡ＋最佳监测点 |
选配 | 分割伞架、光控APEX(380～2000nm) |
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