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SGC-S900CWi

可对应激光器产品


特征:

近红外区域的高精度性能控制!

最适用于激光器类产品!

自动翻转结构实现双面镀膜!

RF离子源实现高功率的蒸镀辅助!


主要规格:

翻转结构

8轴/8片(※自动翻转结构实现双面镀膜)

占地(含维护所需)[mm]

W4,000×D5,800×H2,637mm

重量[kg]

4,685kg

排气系统

22 inchCP×1、MBP、DRP×1、冷阱

基板加热

加热丝 350℃ or 卤素灯150℃

电子枪

180° or 270°偏向型

离子源

栅网结构RF离子源 ISG-130

水晶膜厚监控仪

6点晶控+ COÅT LEADERⅡ+最佳监测点

选配

分割伞架、光控APEX(380~2000nm)

云计算支持 反馈 枢纽云管理