本设备采用了装载锁定（Load lock）式镀膜方法。相比普通设备减轻了设备的维护负担，以及为求省力化，设计了对应前后工程自动化的装置。

另外，采用了旋转式（Carousel）镀膜，可以对应低温镀膜需求。

概要

• 装载锁定式溅镀设备
• W240×L900mm托盘×18片一同处理
• 可以使用3种不同材料进行镀膜

特征

• 可以用于树脂基板的低温溅镀

２． 采用了旋转阴极，延长了靶材的使用寿命

３． 优化了批次内，批次间膜厚分布

４． 相比我司φ1700mm镀膜设备，生产性更高

　　　基板的单位面积耗电量减少了65%

　　　设定面积的生产性能约为2.8倍 

５． 可以扩展自动化功能

主要用途·应用例

１． 用于树脂基板形成防止反射膜