可对形状复杂的基板、进行高绕镀性的镀膜
6轴(φ500mm×6轴)
分割式Dome(选购)
・通过选购可实现和Dome的兼用
・一体型Dome以及作业性高的分割式伞架皆有
RF离子源(选购)
・从多层膜的滤镜到树脂镜片的镀膜都可对应
・可对电压以及电流分别进行操作,可适用于多种蒸镀材料
・根据设备尺寸进行筛网形状以及配置的最适配化
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LED多层光学DBR膜镀膜用真空设备Sapio-DBR (SGC-S1550i S1300i 系列设备)
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