可对形状复杂的基板、进行高绕镀性的镀膜

• 自公转装置：

6轴（φ500mm×6轴）

分割式Dome（选购）

・通过选购可实现和Dome的兼用

・一体型Dome以及作业性高的分割式伞架皆有

RF离子源（选购）

・从多层膜的滤镜到树脂镜片的镀膜都可对应

・可对电压以及电流分别进行操作，可适用于多种蒸镀材料

・根据设备尺寸进行筛网形状以及配置的最适配化