简介

１．本设备是真空蒸镀设备，通过使用阻抗加热式蒸发源使金属材料蒸发后附着到基板上形成薄膜。（主要用于金属多层膜，电极膜）

２．本设备可进行批量生产，搭载1片最大Φ400mm的伞架。

３．通过晶振式膜厚仪进行蒸发速度控制以及膜厚控制。

４．操作控制系统为全自动方式。

特征

１．便于操作

２．最适用于研发以及小批量生产

３．真空槽为前门开闭式，便于维修保养

４．操作控制系统一体化的小型化设计