特 长

1. 本设备是连续式真空热处理设备，主要作用是通过热处理去除晶体振荡器在加工过程中产生的内部应力偏差，使其电极膜更加稳定化。
2. 本设备由预备室，处理室，冷却室3室构成，托盘从预备阶段到退火阶段再到冷却阶段，整个工程全都自动进行。除此之外，本设备还可以连接上下料设备形成自动生产线，提高产能节约人力。
3. 生产速度以 220 × 140mm 的托盘为例达到 18 分/片。(※4)
4. 退火工程完全自动化，提高了生产量。

尺寸 / 重量

外形尺寸

W1900 × D1500 × H2000 毫米

设置面积

约W1900 × D2170 × H2230 mm

设置重量

约2500 kg

性 能

到达压力

9.9 × 10^-4 Pa 以下（退火室）

排气时间

1.2 × 10^-2Pa迄 15分以下 (退火室)

最高温度

退火室: 350°C (加热架表面温度) ※1

常用温度

退火室: 270°C (加热架表面温度) ※2

平均温度

270°C ±7.5°C (加热架表面温度) ※3

处理速度

18分以内/托盘 ※4

排气系统

涡轮分子泵、施转式油泵、机械增压泵

真空计

电离真空计 × 1
皮拉尼真空计 × 3

※1, ※2: 温调器显示值
※3: 加热未搭载托盘时间的温度分布
※4: 工件搭载数为每托盘750个，加热时间设定为2小时
第2片之后的托盘排出的间隔时间
根据取出室的冷却促进用气体种类，处理速度会有变动
录用AVIONICS制托盘(220 × 140)

外部需求条件

所需电量

200V ±10% / 220V ±10%, 三相三线式, 约21 kVA (61A)

所需水量

输入压力: 0.3 ～ 0.4 MPa
压力差: 0.2 MPa 以上
水温: 20 ～ 25°C (以运行中无结露为条件)
流量: 约1.2 m ³ /hr (20 L/min)

所需空压

供给压力: 0.5 ～ 0.7 MPa
设定压力: 0.5 MPa

所需气体

N ₂气(真空槽泄气用)
供给压力: 0.2 MPa 以上
设定压力: 0.2 ～ 0.3 MPa
He气(促进托盘冷却用)
供给压力: 0.05 MPa 以上
    设定压力: 0.02 ～ 0.03 MPa

※设备规格/外观可改良或变更。
※本产品有外汇以及战略物资根据国际贸易管理方法的规定相当出口限制物品的情况。 因而在把相符合品拿到日本国外的时候拿到日本国政府的出口许可申请需要的手续。