特 长

1. 本设备的主要作用是去除晶体振荡器在加工过程中产生的内部应力偏差，使其电极膜更加稳定化。
2. 本设备配有W460 × D350 × H35mm的加热架左右各10层，最多可以摆放 170 × 134mm 尺寸的标准托盘60片。
3. 本设备设计有2个可以独立工作的退火室，提高了生产效率，缩短了生产周期。

尺寸 / 重量

外形尺寸

W1700 × D900 × H1700 毫米

设置重量

约2500 kg

性 能

到达压力

低于 6.7 × 10^-4 Pa （双槽排气）

排气时间

20分钟到达 6.7 × 10^-3Pa (双槽排气)

最高温度

300°C (试料用托盘中央部的表面温度)

常用温度

250°C (试料用托盘中央部的表面温度)

温度调整精度

±15°C (250°C，试料用托盘中央部的表面温度)

升温时间

约60分钟从常温到达 250°C

处理数

60片（使用170mm × 134mm 托盘时)

排气系统

涡轮分子泵、旋转机械泵

真空计

彭宁真空计 × 2
皮拉尼真空计 × 2

外部需求条件

所需电量

三相, 200V, 22.4 kVA (64.7 A)

所需水量

输入压力: 0.3 ～ 0.4 MPa
压力差: 0.2 MPa 以上
水温: 20 ～ 25°C (以运行中无结露为条件)
流量: 约0.66 m ³ /hr (11 L/min)

所需空压

供给压力: 0.5 ～ 0.7 MPa
设定压力: 0.5 MPa

所需气体
(N₂气体泄气用)

供给压力: 0.2 MPa 以上
设定压力: 0.05 ～ 0.1 MPa

※设备规格/外观可改良或变更。
※本产品有外汇以及战略物资根据国际贸易管理方法的规定相当出口限制物品的情况。 因而在把相符合品拿到日本国外的时候拿到日本国政府的出口许可申请需要的手续。