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等离子洗净设备 SPE-2136A

<概要>

对应基板 φ4、φ6英寸晶片

灰化分布 ±10%以内

排气时间 18秒以内到达10Pa

可选购项 Ar等离子清洗除静电器


用途,应用例:

1.各种晶片电子零件的去胶

2.后工序电镀前的表面改质

3.除去有机污染

4.树脂材料的表面改质

5.对应声表等极薄压电晶片

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