<概要>
对应基板 φ4、φ6英寸晶片
灰化分布 ±10%以内
排气时间 18秒以内到达10Pa
可选购项 Ar等离子清洗除静电器
用途，应用例：
1.各种晶片电子零件的去胶
2.后工序电镀前的表面改质
3.除去有机污染
4.树脂材料的表面改质
5.对应声表等极薄压电晶片
扫一扫 在手机上阅读
溅射镀膜+聚合系统 SPP-SERIES 可与成型机直接联机
真空加热封止设备 SLS-401T
连续式真空退火炉 SAF-X1201
离子电镀机 SIP-1600
长按屏幕识别二维码
打开手机扫描二维码
