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高出力RF离子源 ISG-180

可实现广范围稳定放电,可用于光学薄膜的非移膜,也可用于改善树脂基板的膜附着性能等各种用途。

放电性能采用了独创的方法,可以实现切实点火以及稳定放电。


主要特征

◇本部品为电子束电流 1 5 00mA 电 子束 电压 1500V / 离子 电流密度 150 μ A/ c㎡以上的高输出性离子源。

◇通过高压电达成 离子 电流密度分布 ±5 %以下 的均匀性 。

※本数值为 Sapio 1300 设备的测量结果 。 仅限于敝司指定条件 。

◇ 中和器采用自动匹配,实现了切实点火以及稳定性。

◇ 另外,采用了新开发的收集电极(正在申请专利),实现了发射电流可达

3000mA 的超强输出性能 。

充电式,预防膜杂质微粒的发生。

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