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真空蒸镀设备 SEC-06D
高出力RF离子源 ISG-180
超高性能光学薄膜用镀膜机 Sapio 1300 1550
LED多层光学DBR膜镀膜用真空设备Sapio-DBR (SGC-S1550i S1300i 系列设备）
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