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连续式真空退火炉 SAF-X1201
LED多层光学DBR膜镀膜用真空设备Sapio-DBR (SGC-S1550i S1300i 系列设备)
高出力RF离子源 ISG-180
溅射镀膜+聚合系统 SPP-SERIES 可与成型机直接联机
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